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随着外延工艺技术的飞速发展，对硅材料的检测手段日益自动化、先进化，对外延分析测试仪器的原理和测试方法的分析研究尤为重要，本文就目前较常用、较先进的几种测试仪器对外延分析方面作一下研究对比。
扩展电阻、汞探针、四探针测试仪在硅外延测试中的应用
【摘 要】
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随着外延工艺技术的飞速发展，对硅材料的检测手段日益自动化、先进化，对外延分析测试仪器的原理和测试方法的分析研究尤为重要，本文就目前较常用、较先进的几种测试仪器对外延分
【机 构】
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电子十三所(普兴公司),石家庄,050051
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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