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在半导体、金属处理、玻璃制造等工业中均会产生大量的含氟废水，尤其是随着半导体工业的快速发展，大量地使用氢氟酸HF进行蚀刻与清洗操作，因此从环保的角度来看，寻找有效的处理高浓度含氟废水是很重要也很有必要的。目前国内外报导的除氟方法有絮凝、吸附、化学沉淀与电化学方法等。本文在考察RO对NaF溶液与TFA溶液的基础上，通过调节原料液pH值，使大部分氟离子透过RO膜，大大降低RO膜对氟离子的截留率，从而实现TFA与氟离子的分离。