【摘 要】
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半导体生产调度问题是对半导体生产线中的工件、机器和资源进行时间空间上的合理分配,以使得整个生产线上的性能指标最优的问题,具有重要的学术意义和应用价值.它具有高度的
【机 构】
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清华信息科学与技术国家重点实验室,北京 100084
【出 处】
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2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议
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半导体生产调度问题是对半导体生产线中的工件、机器和资源进行时间空间上的合理分配,以使得整个生产线上的性能指标最优的问题,具有重要的学术意义和应用价值.它具有高度的复杂性,因此很难用传统方法进行求解.本文从半导体生产调度问题的特点、生产过程的建模、投料控制、工件调度等方面对现有的理论和方法进行了总结,综述当前半导体生产调度问题的研究进展,并指出了半导体生产调度问题若干有待研究的方向和内容.
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