【摘 要】
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依托国有自主知识产权的电路仿真平台Zeni VLG，建立了MEMS系统级模型库和模拟电路行为级模型库，研究了MEMS结构与电路共同仿真法，通过一个跷跷板加速度计与电路的共同仿真对模型库和仿真方法进行了验证，与国外商业软件Saber对比，瞬态仿真误差在3％之内，说明了仿真方法的可行性和模型库的准确性。
【机 构】
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西北工业大学，微/纳米系统陕西省重点实验室 西安 710072
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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依托国有自主知识产权的电路仿真平台Zeni VLG，建立了MEMS系统级模型库和模拟电路行为级模型库，研究了MEMS结构与电路共同仿真法，通过一个跷跷板加速度计与电路的共同仿真对模型库和仿真方法进行了验证，与国外商业软件Saber对比，瞬态仿真误差在3％之内，说明了仿真方法的可行性和模型库的准确性。
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