【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)是一项多学科交叉的高新技术,为各学科的发展开辟了新的领域.流体力学就是微电子机械系统研究中一个不可缺少的部分.微流体管道是微流体系统的重要部件
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室(合肥)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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微电子机械系统(MEMS)是一项多学科交叉的高新技术,为各学科的发展开辟了新的领域.流体力学就是微电子机械系统研究中一个不可缺少的部分.微流体管道是微流体系统的重要部件之一.硅工艺制作微流体管道主要采用刻蚀工艺,得到的微管道结构和形貌有一定的限制.本文报导了一种制作微流体管道的新工艺,利用负性光刻胶交联将光刻得到的光刻胶管道图形直接固定下来,解决了刻蚀工艺带来的管道的表面粗糙的缺陷,拓展了管道图形的加工范围.而且,在将图形固定下来的同时,也对微管道进行了封装,并且,得到的微管是透明的,有利于对微管道的形貌进行检测,也为利用光学方法进行流体的检测提供了可能.实验中,利用这种方法制成了深5μm、宽50μm、长20mm的微流体管道.
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