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对用于有机金属汽相外延(MOVPE)生长的<211>方向的碲化镉(CdTe)衬底进行多次抛光、腐蚀，在相同的测量条件下，测其X射线双晶衍射回摆曲线的全半高宽度(FWHM)，研究CdTe衬底的表面损伤。
MOVPE有CdTe衬底的损伤层研究
【摘 要】
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对用于有机金属汽相外延(MOVPE)生长的方向的碲化镉(CdTe)衬底进行多次抛光、腐蚀，在相同的测量条件下，测其X射线双晶衍射回摆曲线的全半高宽度(FWHM)，研究CdTe衬底的表面损伤。
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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第十三届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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1998年期
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