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对大口径光学元件的加工质量进行监控，目前主要采用小孔径干涉仪拼接检测的方案，这种方法既保留了干涉检测的高精度，又避免了大口径干涉仪产生的高成本.本文回顾了子孔径拼接干涉检测技术的发展过程，对现阶段国内外该技术的主要应用与研究现状进行了详细的介绍.最后对子孔径拼接检测技术的发展趋势进行了一定的分析.