【摘 要】
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玻璃基板在下游客户正常投入过程中,一些客户出现取片吸附现象,但国际同行取片正常。为解决玻璃吸附问题,我们首先进行分析,然后进行试验论证,并从客户那里收取相关的数据信
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玻璃基板在下游客户正常投入过程中,一些客户出现取片吸附现象,但国际同行取片正常。为解决玻璃吸附问题,我们首先进行分析,然后进行试验论证,并从客户那里收取相关的数据信息,经过试验与数据分析,认为玻璃吸附的发生主要与真空有关。调整机器人程序装载厚度、玻璃装载方式对减少玻璃吸附起到一定的作用,但并不能解决玻璃吸附问题;在下游客户上片区安装吹气装置能够有效的解决玻璃吸附问题。但国际同行投入未出现玻璃吸附现象,说明玻璃吸附的根本原因并未找到,我们还需要在吸附方面探索,缩小与国际同行的技术差距。
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