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可控等离子加速蒸发弧源沉积CoCrAlY合金层研究
可控等离子加速蒸发弧源沉积CoCrAlY合金层研究
来源 :1999年第二届表面工程国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bbschengpengfei
【摘 要】
:
根据毕奥萨伐定律设计磁感应强度B≥5000GS的可控等离子加速蒸发器(弧源),圆管状蒸发器端面排列组合2组滑动线圈,弧束集中性好,等离子束流沉积速率大为提高,沉积CoCrAlY合金涂层
【作 者】
:
张海军
【机 构】
:
江西省机械科学研究所
【出 处】
:
1999年第二届表面工程国际会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
可控等离子加速蒸发器
弧源
合金涂层
毕奥萨伐定律
磁感应强度
涂层厚度
实际应用
排列组合
离子束流
滑动线圈
沉积速率
圆管状
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根据毕奥萨伐定律设计磁感应强度B≥5000GS的可控等离子加速蒸发器(弧源),圆管状蒸发器端面排列组合2组滑动线圈,弧束集中性好,等离子束流沉积速率大为提高,沉积CoCrAlY合金涂层厚度≥0.03mm,根据实际应用要求,可以沉积0.1mm左右的CoCrAlY合金涂层。
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