【摘 要】
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利用磁控溅射法在室温、Ar 气氛下,制备了相同周期不同亚层厚度的CdTe/ZnTe 多层薄膜,对样品进行了SEM、XRD、透过谱等性能测试.SEM 结果表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的各
【机 构】
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四川大学太阳能材料与器件研究所,成都 610064
【出 处】
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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利用磁控溅射法在室温、Ar 气氛下,制备了相同周期不同亚层厚度的CdTe/ZnTe 多层薄膜,对样品进行了SEM、XRD、透过谱等性能测试.SEM 结果表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的各分层界面比较清晰,且相邻亚层之间无互扩散.XRD 图谱显示在所制备的CdTe/ZnTe多层薄膜中,ZnTe 为非晶相、CdTe 为多晶相,且随着CdTe 亚层厚度的不断减小,所制备的多层薄膜中出现了立方CdTe 向六方CdTe 转变的趋势.透过谱表明所制备的CdTe/ZnTe 多层薄膜的吸收边比较陡峭,且对600~900nm 波长范围内的光有强烈的吸收.
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