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在真空系统中,残余气体是影响真空工艺性能及真空器件寿命的重要因素。因为真空系统中的残余气体及某些有害气体,会破坏真空系统的性能,还可能会促发某些损坏真空室内应用器件的现象。在实际工作中,有时不但要降低真空器件中残余气体的量,更要控制残余气体的成份。本文对不同抽气系统内的残余气体进行了分析,并对改进超高真空系统的排气手段和降低真空系统内残余气体分压力的抽气方法进行了较详细的介绍和论述。