一种评价硅微陀螺性能的电路分析方法

来源 :中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qzccj
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硅微机械陀螺具有体积小,成本低,功耗低,可批量生产等优点,在航空航天、导航制导、消费电子等领域应用广泛。陀螺真空封装后,通常检测的陀螺工作模态是否正常来判定陀螺是否正常工作,但是工作模态不能全面反映陀螺的性能。评价陀螺性能的指标有很多,通常有零偏、零偏稳定性、标度因数非线性度、分辨率、量程、带宽等。传统的微机械陀螺测试方法耗费时间比较长,测试系统比较复杂,需要专用设备,工作量很大。本文基于双正弦载波调制的测控电路,经过大量的电路调试工作,首次利用电路分析方法,提出了三种评价硅微陀螺性能的指标。
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