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该文介绍了在微电子广泛应用的光刻技术的发展以及基于光刻技术的几种微机械加工技术。
光刻技术的进展及应用
【摘 要】
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该文介绍了在微电子广泛应用的光刻技术的发展以及基于光刻技术的几种微机械加工技术。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)
【出 处】
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中国光学学会98年中国青年光学学术研讨会
【发表日期】
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1998年7期
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