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450mm大尺寸单晶硅生长技术是目前单晶硅生长领域的前沿研究课题，连续加料法是生长450mm大尺寸单晶硅的技术发展方向。大尺寸单晶硅生长过程中晶体内部较大的热应力是影响晶体质量的重要因素。
连续加料法生长450mm大尺寸单晶硅内部热应力场的模拟研究
【摘 要】
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450mm大尺寸单晶硅生长技术是目前单晶硅生长领域的前沿研究课题，连续加料法是生长450mm大尺寸单晶硅的技术发展方向。大尺寸单晶硅生长过程中晶体内部较大的热应力是影响
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2015年期
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