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该文分析了镍薄膜温度传感器制造的难点，提出降低内应力方法，采用正交试验法得出最佳工艺条件，采用Ｓ枪磁控溅射和薄膜工艺制成了Ｒ<,o>（０℃时的阻值）分别为１００Ω、５００Ω、１０００Ω的镍薄膜电阻元件，并分别给出了它们的阻温特性曲线，所研制的镍薄膜电阻符合德国标准ＤＩＮ４３７６０。
镍薄膜温度传感器
【摘 要】
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该文分析了镍薄膜温度传感器制造的难点，提出降低内应力方法，采用正交试验法得出最佳工艺条件，采用Ｓ枪磁控溅射和薄膜工艺制成了Ｒ（０℃时的阻值）分别为１００Ω、５００Ω、１０００Ω的镍薄膜电阻元件，并分
【机 构】
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工业部沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议
【发表日期】
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1996年期
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