用于FMMR微推进系统的微型自锁阀

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【摘要】

：

<正>基于MEMS的微推进系统是未来微型飞行器动力系统的发展趋势,它拥有减小质量、体积,低功耗和高推质比等方面的优点,使推进系统小型化达到空前的水平,从而大大降低研制成本

【作者】

：

蒋建管海兵

【机构】

：

西安航天动力研究所研发中心; 上海交通大学;

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

微推进系统微型化自锁阀

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<正>基于MEMS的微推进系统是未来微型飞行器动力系统的发展趋势,它拥有减小质量、体积,低功耗和高推质比等方面的优点,使推进系统小型化达到空前的水平,从而大大降低研制成本,缩短研制周期,是未来微型航天器的最佳选择之一。自由分子流微电阻加热推力器(FMMR)是一种基于MEMS技术的微型电热式推力器,具有集成化

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