【摘 要】
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本文主要介绍了一种小型化的基于MEMS技术的片上集成开关滤波技术,该芯片由3个分别工作在6.1-7.9GHz、7.9-9.9GHz、9.9-11.9GHz的滤波器和2个PIN单刀四掷开关组成。测试结果
【基金项目】
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国家科技重大专项5G基站高频宽带射频滤波器试验样片研发(2016ZX03001007)
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本文主要介绍了一种小型化的基于MEMS技术的片上集成开关滤波技术,该芯片由3个分别工作在6.1-7.9GHz、7.9-9.9GHz、9.9-11.9GHz的滤波器和2个PIN单刀四掷开关组成。测试结果表明:开关滤波器导通后中心插损最大约4.7dB,带边1GHz处带外抑制约为40dB。开关芯片尺寸仅为:13mm×12mm×0.8mm,为传统开关滤波组件体积的1/100。考虑工艺误差影响,设计与测试结果吻合良好,该芯片因体积小、性能优可广泛用于射频前端系统。
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