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MEMS谐振器采用阵列耦合设计可以降低运动电阻、提高功率处理能力等,但是阵列耦合谐振器的性能对于耦合梁结构特性非常敏感,据此分......
MEMS滤波器具有小型化、低插损、高带外抑制等优点,是微波通信系统研究的重要方向之一。随着MEMS滤波器需求量的不断增加,传统的手......
现代无线通信技术的飞速发展使得无线电频谱资源比较匮乏,因此对于通信设备有了更为严格的要求。目前,对于易加工、重量轻、体积小......
为提高装备系统作战效能，给出了一种基于微组装混合集成设计的雷达／侦察／干扰一体化收发前端技术．通过对变频方案的优化以及双平衡混频......
基于硅基深反应离子刻蚀、表面金属化、热压金-金键合等微机电系统（micro-electro-mechanical-systems,MEMS）加工工艺,并结合耦合系......
针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺,基于亚硫酸金盐无氰电镀液,并结合脉冲电镀技术,通过对电流密度、占空比、......
本文主要介绍了一种小型化的基于MEMS技术的片上集成开关滤波技术,该芯片由3个分别工作在6.1-7.9GHz、7.9-9.9GHz、9.9-11.9GHz的......
滤波器是微波毫米波电路中的一个重要部件,本文介绍了采用基片集成波导技术和ICP深刻蚀微机械通孔阵列的硅基MEMS滤波器。设计制作......
随着第五代移动通信(The Fifth Generation mobile communication,5G)技术的发展,通信系统对滤波器的要求也越来越高,小型化、集成......
太赫兹波介于毫米波与红外线之间,是电磁频谱中一个还没有完全开发和大量应用的频段,属于目前学术研究的前沿和热点。太赫兹波有着......
