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在某大型航天器泄复压试验的调试中，使用了电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量。由于测量时薄膜规处于真空环境中，因此测量数据出现了较大的偏差。本文即对这一问题进行原因分析，提出薄膜本底偏移量是产生偏差的最重要原因，并有针对性地采取解决措施。
电容薄膜规在真空环境下测量偏差的原因分析
【摘 要】
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在某大型航天器泄复压试验的调试中，使用了电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量。由于测量时薄膜规处于真空环境中，因此测量数据出现了较大的偏差。本文即对
【机 构】
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可靠性与环境工程技术重点实验室 北京卫星环境工程研究所
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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