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生物电现象是生命活动的基本属性，其来源是生物组织中“可兴奋细胞"的电化学活动，利用微电极对这些细胞的电生理活动进行检测和记录，是了解其功能及相互作用机制的重要手段。传统的微电极主要是金属丝电极和玻璃微电极，它们可以对在体和离体条件下的单细胞电生理活动进行记录，但要用于研究细胞群体放电的规律则比较困难。现代MEMS技术的出现大大推动了微电极制作工艺的发展，不同形式微电极阵列的出现使得群体细胞电活动的多通道同步记录成为可能。本文采用MEMS微加工工艺，制备了一种64通道的平面微电极阵列，根据实际需求完成了对微电极的封装，形成完整的带灌流装置的微电极阵列传感器芯片，并对微电极的性能进行了初步研究。