【摘 要】
:
铁电钛酸锶钡(BaSr(BSTO)薄膜材料具有很好的可调性,在微电子工业有广阔的应用前景.本文采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(001)LaAlO单晶基片上外延生长了BaSrTiO薄膜.利用透射电子显微镜对薄膜的截面样品进行了微结构和界面行为的研究.
【机 构】
:
中国科学院物理研究所北京电子显微镜实验室(北京) 中国科学院物理研究所超导国家重点实验室(北京)
论文部分内容阅读
铁电钛酸锶钡(Ba<,1-x>Sr<,x>(BSTO)薄膜材料具有很好的可调性,在微电子工业有广阔的应用前景.本文采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(001)LaAlO<,3>单晶基片上外延生长了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>薄膜.利用透射电子显微镜对薄膜的截面样品进行了微结构和界面行为的研究.
其他文献
利用扫描电镜(SEM)观察了蓝宝石衬底和外延GaN层的位错缺陷,探索了衬底中位错和外延层位错形成的关系.并使用原子力显微镜(AFM)技术观察了蓝宝石衬底与GaN外延层界面的形貌.
在器件的微细化、复杂化和结构三维化日趋提高的今天,化学机械抛光.(CMP)是ULSI多层布线制备中唯一能提供全局平面化的技术.本文综述了化学机械抛光的基本工作原理、发展状况及应用前景.
本文在研究分析SiGe材料实空间电荷转移器件(RST)的结构及原理的基础上,基于SiGe材料物理与电学特性建立了该器件的电流-电压特性模型,并进行了模拟分析,结果表明,模拟结果与实验结果符合较好.
该文介绍了当前RF CO<,2>激光器的现状与发展趋势。详细地介绍了输出激发15W所需160W的RF电源。主要内容包括:技术要求、设计方法、原理框图、原理电路、工作原理、工作过程。
经典的DC/DC变换器,象buck变换器、boost变换器、Buckboost变换器、Cuk变换器和罗氏变换器,通常是由电感和电容组成。因为电路存在着电感,所有经典的变换器体积大而功率密度低,由于开关电容可以集成在功率半导体集成芯片上,所以它们被成功地应用于无感DC/DC变换器中,并开拓了设计高功率密度变换的方法,然后,在文献中已有的多数变换器都是单象限运行。其中一些工作在推挽状态下。它们的控制电
下一代计算机微处理器需要具有快速动态响应特性的小型、高效的低压、大电流DC/DC功率变换器。多模块交错准方波(QSW)电路拓扑结构可以显著提高动态响应特性,在电路中电感器是关键的器件。该文针对多模块交错QSW功率变换器提出了一个平面化集成电感的结构方案。这一集成方案利用了在每个模块电流的相位关系,将各个模块上分立的电感集成一个磁芯结构上,从而减少了电感器的尺寸及功率损耗。
CaB曾因为被发现具有铁磁性而引起了广泛的关注.在我们的研究过程中发现铁磁性会随着CaB的化学配比而发生变化,为了确定化学配比对CaB晶体结构的影响,采用电子能量损失谱对CaB晶体的化学剂量比x进行了测量.
类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个;一是寻求人工合成β-CN超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善其性能.采用电解甲醇以及甲醇和尿素混合溶液的方法,得到了DLC膜和掺氮的类金刚石薄膜(简称CN膜),基底材料为N(100)单晶硅.用SPM-9500型原子力显微镜观察样品表面形貌;在UMT-2MT型摩擦磨损实验机上测定薄膜的摩擦性能.
本文采用纯铝(≥99.85﹪)、纯铜(≥99.9﹪)、高纯铁(>99.99﹪)原材料按AlCuFe的合金成分,采用真空感应炉在氩气保护下熔炼,烧铸至电阻炉内控温在850℃的铸型中,保温2.5h后,水淬至室温得到铸锭.为了分析不同温度下的Φ相结构,进一步制备了在720℃、620℃和490℃时水淬的试样.
近期,日本科学家Takada等发现了新型层状水合物超导体NaCoO·1.3HO.该超导体具有层状结构,属于强关联体系,由于它在导电性和晶体结构上均类似于高温超导体,所以引起了科学界的广泛关注.我们用传统的固态反应法得到其母体NaCoO,并对其进行了透射电子显微镜研究.