等离子体源离子注入（ＰＳＩＩ）技术的实验研究

来源 :95等离子体与材料表面改性学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sxtld

【摘要】

：

该文介绍了在ＰＳＩＩ原型机ＰＳＩＩ－ＥＸ装置上开展的等离子体源离子注入增强沉积工艺条件及工作方式探讨实验和实用工件ＰＳＩＩ或ＰＳＩＩ＋增强沉积处理，并简述了ＰＳＩＩ工业用样机设计。

【作者】

：

童洪辉陈开芹

【机构】

：

物理研究院

【出处】

：

95等离子体与材料表面改性学术讨论会

【发表日期】

：

1995年期

【关键词】

：

等离子体源离子注入技术增强沉积样机设计工艺条件方式探讨原型机工业用装置实验工件处理

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