MOCVD生长GaSb/GaAs不同Sb源对结晶质量的影响

来源 :第13届全国MOCVD学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liucheng333
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GaSb具有闪锌矿晶体结构,晶格常数为6.1(A),是直接带隙半导体材料.该材料是锑化物半导体的代表,具有低电阻率和高电子迁移率.GaSb及其他锑化物半导体近年来被广泛应用于超高速超低功率器件、微波单片集成电路、红外焦平面阵列探测、热光伏器件、中红外波段量子点激光器、量子级联激光器、共振隧穿二极管等领域.
其他文献
作为环保节能的新一代绿色光源和照明技术,大功率LED近年来得到快速发展,但仍然存在散热不畅的瓶颈.由于缺乏同质衬底,GaN材料的生长主要采用异质外延的方法,通常选用蓝宝石作为异质外延的基底.但蓝宝石基底导热性差,使器件在工作时产生的热量不能够有效地传递到热沉上去,从而导致LED器件工作时的结温急剧升高,不仅降低了器件发光效率,也缩短器件的寿命.
会议
难熔金属以其高熔点、高硬度、高强度等独特的性能得到了广泛的应用。难熔金属主要包括钨、钼、铼、铌、钽、铬、钛、锆、铪等。本文简述了难熔金属钨、钼、铼制品的主要制备方法及其高温机械性能、电热性能。并重点介绍钨、钼、铼制品在MOCVD加热器中的应用以及安泰科技在国产MOCVD设备研制中的工作。
针对垂直喷淋式MOCVD反应器的射流现象进行数值模拟研究.通过改变反应腔高度、喷口间距、喷口速度、托盘转速等,对反应器内的流场、温场、浓度场随上述参数的变化进行详细探讨,进一步探索MOCVD反应器中射流影响的规律.
会议
Optical studi es of photol uminescence (PL), PL excitation (PLE), tim e-resolved PL (TRPL) and Ram an scattering have been perf ormed on In xGa1-xN/GaN multiple quantum well (MQW) structures grown on
会议
运用键合技术及激光剥离技术,我们可以去除导电导热性差的蓝宝石并将GaN薄膜转移到Ni,Si,Cu等导电导热性好的衬底上并制作出GaN基垂直结构LED.然而,传统GaN基垂直结构LED的制作过程比较繁琐,等离子体电感耦合(ICP)通常需要用到两次(刻蚀u-GaN,分离器件并确定芯片尺寸),刻蚀工艺复杂,价格昂贵,而且在刻蚀的过程中会对底部的反射镜以及量子阱造成一定的损伤.
本文应用量子化学计算的方法,对MOCVD中生长AlN的气相化学反应路径进行探讨.分别计算了TMA热解反应和加合反应路径的分子构型和势能面,同时考虑过量的H2和NH3对化学反应路径的影响.计算结果表明:TMA直接热解并分解出CH3自由基的能垒很高,这条路径很难进行下去.
会议
三(乙酰丙酮)合铱(Ⅲ) [Ir(acac)3]易升华,分解温度低,是金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备铱低维材料的理想前驱体[1-3].然而Ir(acac)3的合成技术仍被发达国家垄断,文献报道的关于Ir(acac)3的合成产率最高仅为22%,导致了我国使用的Ir(acac)3依赖进口,处于受制于人的局面.
日盲紫外光探测可避免最主要的背景光噪声源—日光的干扰,因此在民用与军事领域有着广泛的应用.三元化合物AlGaN具有直接带隙、耐腐蚀、抗辐射等的特性,通过调节Al组分,其带隙对应波长可由UV-A而至UV-C波段,是制作固态日盲紫外探测器的优选材料体系.
会议
基于Ⅲ族氮化物的固态雪崩光电探测器(APD)因具有低操作电压、低功耗、小尺寸、无需冷却等优点而适合集成到航天飞机、卫星和一些军事装备上.具有本征日盲特征的AlGaN-APDs能够在太阳辐射背景下探测微弱甚至是单光子的日盲波段光信号,有希望部分替代目前需要在高压下操作的易碎的光电培增管.
会议
在Ⅲ族氮化物的MOCVD中,由于气相寄生反应的存在,使薄膜生长效率下降.寄生反应随温度、压强、驻留时间等的增加而增加,不仅造成薄膜质量下降,生长速率下降,而且大部分MO源最终转化为纳米粒子,浪费了宝贵的源气体.在Ⅲ族元素Al、Ga、In与V族元素N的结合中,化学键能分别为2.88、2.20、1.98 eV,其中Al-N化学键能较强,而Ga-N和In-N化学键能较弱且二者接近.
会议