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硬轴炉是拉Ｎ型高昌的关键设备。但硬轴炉往往引起单晶爬动－－晶锭扭振，这些然会引起单晶生长困难。该文通过对硬轴炉单晶的模型简化，分析研究了引起的单晶爬动的原因，由此指导生产实践，取得了良好的效果。
硬轴炉晶转爬动的原因分析
【摘 要】
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硬轴炉是拉Ｎ型高昌的关键设备。但硬轴炉往往引起单晶爬动－－晶锭扭振，这些然会引起单晶生长困难。该文通过对硬轴炉单晶的模型简化，分析研究了引起的单晶爬动的原因，由此指导生产实
【机 构】
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大学半导体厂
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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