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本文对基于SU-8紫外负性光刻胶的无源-有源集成式电光波导进行了系统的研究.首先用物理掺杂的方法制备出价格低廉、性能良好的主客掺杂型电光聚合物DR1/SU-8,反射法测量其电光系数约为11.5pm/V@1310nm.为减小器件的插入损耗,设计并制备了有源芯层为DR1/SU-8,无源芯层为SU-8的倒脊形混合集成式波导结构.测试得到器件的插入损耗为13.8dB,相比于纯DR1/SU-8作为芯层的波导结构插损减小了约2.8dB.