【摘 要】
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石英振梁加速度计具有温度稳定性好,耐恶劣环境,长期可靠性高,高精度大量程等优点,特别适用于国家急需的战略级武器惯性导航、石油钻井、地震监测等高精度应用领域。自检测功
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程学院微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室;
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石英振梁加速度计具有温度稳定性好,耐恶劣环境,长期可靠性高,高精度大量程等优点,特别适用于国家急需的战略级武器惯性导航、石油钻井、地震监测等高精度应用领域。自检测功能是微传感器一项重要的功能,在对安全要求严苛的许多应用领域中,在传感器运行前进行自检是非常有必要的。本文提出一种改进的一体式石英振梁加速度计结构,能够有效提高检测轴方向灵敏度和抑制交叉轴的干扰。结合一体式加速度计的特点,利用静电激励的原理,设计了一种具有自检功能的一体式石英振梁加速度计的新结构。
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