【摘 要】
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MEMS (Micro-Electro-Mechanical System)微型傅里叶变换光谱仪是基于MEMS技术开发的微型光谱分析仪器。系统中分光模块是基于MEMS开发的微型迈克尔逊干涉仪。微干涉仪中
【机 构】
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无锡微奥科技有限公司,江苏,无锡,214135
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MEMS (Micro-Electro-Mechanical System)微型傅里叶变换光谱仪是基于MEMS技术开发的微型光谱分析仪器。系统中分光模块是基于MEMS开发的微型迈克尔逊干涉仪。微干涉仪中的动镜采用电热式线性大位移扫描微镜，微镜扫描过程中调节光程差的变化实现光的动态调制。本文主要介绍基于MEMS微镜设计的微型傅里叶变换光谱仪并且针对微型光谱仪做出相关分析及验证，同时采集标准样品光谱验证系统性能。
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