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介绍了一种利用硅的各向异性腐蚀特性在SOI材料上实现的光功率分配器,文中阐述了分配器的结构原理,制作方法,并给出了初步的测试结果.该功率分配器利用硅和空气的界面作为全反射镜面在短距离内实现了输出分支的间距为250μm的低损耗功分器.
一种基于SOI材料的光功率分配器
【摘 要】
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介绍了一种利用硅的各向异性腐蚀特性在SOI材料上实现的光功率分配器,文中阐述了分配器的结构原理,制作方法,并给出了初步的测试结果.该功率分配器利用硅和空气的界面作为全反射镜面在短距离内实现了输出分支的间距为250μm的低损耗功分器.
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系(杭州) 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室(上海)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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