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介绍了一种利用硅的各向异性腐蚀特性在SOI材料上实现的光功率分配器,文中阐述了分配器的结构原理,制作方法,并给出了初步的测试结......
介绍了一种利用KOH溶液对硅的各向异性腐蚀原理,并结合抛光技术制作垂直的光学微镜面的方法.制成的微镜高度300μm,厚度3.3μm,宽......
本文设计了具有类椭圆函数非对称响应的太赫兹窄带带通滤波器。滤波器由两个椭圆柱形谐振腔组成,并采用侧壁激励的方式,中心频率分......
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