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本文利用光学测微原理对微小尺寸进行初级放大,通过读数系统将微小尺寸转变为光栅像的移动,从而获得测量尺寸放大的莫尔条纹信号,再利用CCD分辨率高,象素均匀的特点,对莫尔条纹进行细分,从而提高了测长系统的分辨率和精度,精度可达到0.5um。
基于光学测微及CCD细分原理的比较测微仪的研究
【摘 要】
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本文利用光学测微原理对微小尺寸进行初级放大,通过读数系统将微小尺寸转变为光栅像的移动,从而获得测量尺寸放大的莫尔条纹信号,再利用CCD分辨率高,象素均匀的特点,对莫尔条
【机 构】
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长春理工大学生命科学学院 长春 130022
【出 处】
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中国仪器仪表学会第九届青年学术会议
【发表日期】
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2007年期
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