【摘 要】
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随着微波通讯的迅猛发展,对器件的频率要求越来越高,线条也越来越细,尤其工作在千兆频率下的低噪声放大器,栅长不能超过0.4μm,在目前较先进的光学显微镜下看到的仅仅是一条
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随着微波通讯的迅猛发展,对器件的频率要求越来越高,线条也越来越细,尤其工作在千兆频率下的低噪声放大器,栅长不能超过0.4μm,在目前较先进的光学显微镜下看到的仅仅是一条细线,而扫描电镜的高放大倍数、高分辨率正好能解决这个问题,可以说,扫描电镜是GaAs MMIC制作工艺中不可缺少的仪器.样品制作:一是从表面监测所作细条的均匀性、连续性.二是将样品从垂直于细条方向切开,从断面精确观测其形貌、大小并分析工艺中出现的问题.为此,我们特加工了如图1的样品台,上为顶视图,下为侧视图.用双面胶带纸将样品粘在样品台斜面
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