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该文介绍一种新型的定偏心式锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立平面成形的数学模型基础上，进行工艺实验，研究人员能够获得λ/10～λ/15／Φ30、λ／8／Φ100平面度、白宝石0．23nmrms、微晶玻璃0．37～0．52nmrms的粗糙度。
硬脆材料的超光滑高平面度抛光工艺
【摘 要】
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该文介绍一种新型的定偏心式锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立平面成形的数学模型基础上，进行工艺实验，研究人员能够获得λ/10～λ/15／Φ30、λ／8／Φ100平面度、白宝石0．23nmrms、
【机 构】
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航空精密机械研究所超精密加工重点实验室(北京)
【出 处】
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中国机械工程学会第三届全国青年学术会议
【发表日期】
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1998年期
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