【摘 要】
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从I-V特性分析结果显示，AlSiN薄膜随着氮氩比例增加，瞬间电流随之提高：而靶材有效面积瞬间功率密度，从2618W/cm2增加至3410W/cm2。从XRD、TEM、XPS分析结果显示，AISiAl薄膜随着氮氩比例增加，薄膜结构从含些奈米铝矽结晶金属氮化物转变为c-AiN与a-Si3N4的奈米复合薄膜，最后转为非晶结构。从奈米压痕分析结果显示，随着氮氩比例增加到45％，硬度从1.1GPa上升至2
【出 处】
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第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
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从I-V特性分析结果显示，AlSiN薄膜随着氮氩比例增加，瞬间电流随之提高：而靶材有效面积瞬间功率密度，从2618W/cm2增加至3410W/cm2。从XRD、TEM、XPS分析结果显示，AISiAl薄膜随着氮氩比例增加，薄膜结构从含些奈米铝矽结晶金属氮化物转变为c-AiN与a-Si3N4的奈米复合薄膜，最后转为非晶结构。从奈米压痕分析结果显示，随着氮氩比例增加到45％，硬度从1.1GPa上升至20.6GPa，因固溶强化与品粒插化之影响。在大气环境进行磨耗分析，AlSiN薄膜在氮氦比例25%时，具有最低之平均摩擦系数0.3。
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