【摘 要】
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热障涂层的三维结构对其性能有非常重要的影响.以电子束物理气相沉积热障涂层为研究对象,进行了1050℃高温氧化实验,采用微米CT和聚焦离子束-扫描电镜进行三维成像,获得了EB-PVD热障涂层三维结构.通过三维分割得到了TGO、相互扩散区的三维分布、孔隙分布和微裂纹的三维分布,定量分析了TGO和微裂纹厚度.结果表明,微米CT、FIB-SEM对TGO厚度分析结果与扫描电镜分析结果基本一致,微裂纹平均厚度
【机 构】
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南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室 南昌330063
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热障涂层的三维结构对其性能有非常重要的影响.以电子束物理气相沉积热障涂层为研究对象,进行了1050℃高温氧化实验,采用微米CT和聚焦离子束-扫描电镜进行三维成像,获得了EB-PVD热障涂层三维结构.通过三维分割得到了TGO、相互扩散区的三维分布、孔隙分布和微裂纹的三维分布,定量分析了TGO和微裂纹厚度.结果表明,微米CT、FIB-SEM对TGO厚度分析结果与扫描电镜分析结果基本一致,微裂纹平均厚度为0.14μm,需要更高分辨率的微米CT观察微裂纹.
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