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本文应用紫外光—臭氧处理方法对砷化镓晶片表面进行了氧化钝化处理,并应用于场效应晶体管的制作工艺中,对比测试了器件性能参数.
紫外光-臭氧处理法在砷化镓器件中的应用
【摘 要】
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本文应用紫外光—臭氧处理方法对砷化镓晶片表面进行了氧化钝化处理,并应用于场效应晶体管的制作工艺中,对比测试了器件性能参数.
【机 构】
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天津大学化工学院(天津)
【出 处】
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化学与物理电源学术年会
【发表日期】
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2002年期
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