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紫外光-臭氧处理法在砷化镓器件中的应用
本文应用紫外光—臭氧处理方法对砷化镓晶片表面进行了氧化钝化处理,并应用于场效应晶体管的制作工艺中,对比测试了器件性能参数.......
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紫外光
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