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本文提出了一种新型的自对准栅极场发射锥尖阵列的结构，并实验研究了该结构的制备方法，测量了其电学特性。测试结果表明该结构具有阴极发射材料选择灵活，所制造的阴极隈列一致性较好，当栅极电压为81伏时发射电流达到1.4μA/尖,跨导为1.8μS/尖。最后讨论了该FEA用于高频微波器件和场发射显示器件的可能性。