【摘 要】
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VOC气体对人体危害极大,二氧化锡作为传统的半导体材料在气体传感器方面有着重要应用,但在选择性、稳定性、响应值等方面还存在提高的必要和空间.沸石分子筛具有独特的孔道结
【机 构】
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大连理工大学电子科学与技术学院,大连116023
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
VOC气体对人体危害极大,二氧化锡作为传统的半导体材料在气体传感器方面有着重要应用,但在选择性、稳定性、响应值等方面还存在提高的必要和空间.沸石分子筛具有独特的孔道结构以及筛选和催化等性能,近年来被用于研究气体传感器.本文通过将Y型沸石与二氧化锡复合来改善气敏元件的性能.分别采用二氧化锡和Y沸石以不同质量比直接复合和在二氧化锡表面涂覆一层Y沸石两种复合方式制备了气敏元件.实验结果表明,与纯二氧化锡气敏元件比较,两种复合方式都提高了对丙酮的响应值,而对其他VOC气体的响应影响不大,因而也提高了气敏元件对丙酮的选择性.初步分析机理,Y沸石可能对吸附到孔道内的丙酮产生了催化作用,从而提高了对丙酮的响应值.
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