微电容式Lamb波器件及其制作

来源 :吉林省第四届科学技术学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zoxn2008
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针对目前Lamb波器件功能材料层的制作工艺与传统集成电路工艺不兼容的问题,提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(CIDT:Capacitive Interdigital Transducers)的小型化微电容式Lamb波器件,并给出了器件的设计原理、结构和MEMS制作工艺。器件采用CIDT直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。初步研究了器件的频率响应特性。实验表明:器件的制作工艺和集成电路(IC: Integrated Circuit)工艺完全兼容。由于器件的振动元件硅薄膜对质量等物理量敏感,因而微电容式Lamb波器件可以用来制作微传感器。
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