薄膜应变栅称重传感器的研制

来源 :中国电子学会第四届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:assofour
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本文运用薄膜沉积技术,制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明,由于克服了粘接胶所带来的弊病,该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小,稳定性和可靠性高的特点。
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