薄膜应变栅相关论文
本文运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具......
运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞......
运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属 -绝缘层 -金属 (MIM)结构的薄膜应变栅 ,测试了应变栅在 2 0 0～ 30 0℃的高温区内的稳定性 ,......
期刊
阐述了采用直接沉积法制作ＭＩＭ结构薄膜就变栅的工艺方法，对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法，对所制作的薄膜应变......
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运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属－绝缘层－金属（ＭＩＭ）结构的薄膜应变栅，测试了应变栅在２００￣３００℃的高温区内的稳定性，并分析了应变栅薄膜的结构、......
