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设计出用PDMS作为泵膜的压电驱动集成微阀与微泵.具有结构简单、易于加工、操作方便的特点,给出几何参数、工作的原理和工艺流程.
压电驱动微阀与微泵集成结构的设计与分析
【摘 要】
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设计出用PDMS作为泵膜的压电驱动集成微阀与微泵.具有结构简单、易于加工、操作方便的特点,给出几何参数、工作的原理和工艺流程.
【机 构】
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中国科院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
【出 处】
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第三届全国微全分析系统学术会议
【发表日期】
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2005年10期
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