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飞行器电子元器件的可靠性是保证整机安全升空、长期运行的重要保证[1]。对构成电子元器件的电极材料特别是薄膜界面结构变化进行早期诊断，建立适当的评价方法，避免因失效造成飞行器的损失，具有十分重要的意义[2]。然而目前的失效评估方法都是宏观参数的测量，很少涉及纳米量级分析与对微观失效机制的判断。本研究中通过模拟的低地球轨道环境对Au/Cu/Si薄膜样品进行处理，同时运用俄歇电子能谱、原子力显微镜、X射线衍射等分析方法，研究薄膜表面和界面结构，界面层产物分布以及原子扩散过程。