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用图象传感器构成的高分辨率高精度光栅位移测量系统的研究
【机 构】
:
重庆大学光电精密机械研究所
【出 处】
:
中国机械工程学会生产工程分会首届青年学术研讨会
【发表日期】
:
1993年期
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