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台阶高度是表面计量学中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据(标准样品、制备样品)得到台阶高度。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析，发现直方图法能够有效避免人为因素的影响，适用于10nm以上的台阶高度的测量，是目前最适于定为台阶高度测试标准的方法。
直方图在台阶高度测量上的适用性研究
【摘 要】
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台阶高度是表面计量学中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据(标准样品、制备样品)得到台阶高度。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院,北京 100024
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2015年期
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