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为深入开展微纳尺度光学腔量子电动力学的研究，本文利用锥形光纤与平面环形微腔组成光学耦合系统，并对该耦合系统及平面环形微腔进行了深入分析，尤其对平面环形微腔与锥形光纤耦合参数进行数值模拟，讨论了不同参数对平面环形微腔Q值的影响，并得到了一些有用的实验结果。通过分析耦合系统的参数公式，我们获得了系统的优化参数，并利用MEMS工艺进行光刻、腐蚀，实验上获得了平面圆盘腔阵列，而且利用高功率CO2实现了环形微腔的表面优化处理，为深入开展相关研究提供了可能。