等离子体在微弧氧化中的作用

来源 :'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanhe1000
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在微弧氧化过程中形成高温高压区,使已形成的无序结构的氧化膜发生相和结构的变化,从而产生a-Al<,2>O<,3>或r-Al<,2>O<,3>的相结构,使氧化膜更加致密;另一方面,在等离子体中,O<+>离子在负电压作用下被加速打入铝的基本中形成渗透氧化,使氧化膜厚度增加,且增加的氧化膜主要在铝的基体中.
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