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基于虚拟仪器的VDMOS辐照环境下开启电压在线测试系统
基于虚拟仪器的VDMOS辐照环境下开启电压在线测试系统
来源 :第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:C1335639
【摘 要】
:
为配合中国科学院微电子研究所VDMOS总剂量辐照、单粒子辐照、瞬态剂量率辐照等极限环境下器件开启电压的在线实时准确测量,开发了一套以虚拟仪器技术和图像化编程语言LAB
【作 者】
:
蔡小五
海潮和
赵发展
王立新
陆江
刘刚
夏洋
【机 构】
:
中国科学院 微电子研究所,北京 100029
【出 处】
:
第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
:
2007年期
【关键词】
:
基于虚拟仪器
VDMOS
辐照环境
开启电压
自动测试系统
虚拟仪器技术
总剂量辐照
中国科学院
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为配合中国科学院微电子研究所VDMOS总剂量辐照、单粒子辐照、瞬态剂量率辐照等极限环境下器件开启电压的在线实时准确测量,开发了一套以虚拟仪器技术和图像化编程语言LABVIEW为核心的功率VDMOS开启电压远程在线自动测试系统。
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