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该文介绍了RTP技术在多晶硅发射极超高速双极电路研制中的几个应用。其中包括RTP技术一次形成0.1μm发射结深度、0.2μm集电结深度、0.1μm基区宽度;RTP技术E、B、C钴硅化物自对准形成技术。与其它高速工艺技术配合,最后研制成硅静态2分频器的工作频率大于3GHz,8分频器的工作频率大于2GHz;512、256分频器工作频率达2.5GHz;19级环振门延迟为33ps。