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采用电化学气相沉积方法（EVD）,于自制的EVD设备上,淀积了Y2O3-ZrO2（YSZ）固体电解质薄膜,并对薄膜的组成、结构、形貌、厚度等进行了XRD、SEM、XPS分析测试。结果表明:淀积的YSZ薄膜为全稳定立方晶相结构,可以控制Y2O3的掺杂浓度在8mol%～12mol%之间,满足YSZ作为高温下氧离子导电固体电解质的要求。